| 发明名称 |
Verfahren zur Oberflächen-Plasmabearbeitung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69615677(D1) |
申请公布日期 |
2001.11.08 |
| 申请号 |
DE19966015677 |
申请日期 |
1996.07.30 |
| 申请人 |
MICHIGAN STATE UNIVERSITY, EAST LANSING |
发明人 |
ZHANG, JIE;ASMUSSEN, JES |
| 分类号 |
C23C16/26;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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