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经营范围
发明名称
Kupferverdrahtung mit verbessertem Elektromigrationswiderstand und reduzierter Defektempfindlichkeit
摘要
申请公布号
DE69836114(T2)
申请公布日期
2007.04.19
申请号
DE19986036114T
申请日期
1998.05.08
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.
发明人
ASHLEY, LEON;DALAL, HORMAZDYAR M.;NGUYEN, DU BINH;RATHORE, HAZARA S.;SMITH, RICHARD G.;SWINTON, ALEXANDER J.;WACHNIK, RICHARD A.
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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