发明名称 载具运输流量管理系统及方法以及电脑可读取储存媒体
摘要 一种用以管理载具(carrier)搬运流量之搬运管理系统及方法。一部主电脑连结至一个制造机台(fabrication tool),当侦测到制造机台中之载入埠可使用时,取得相应于制造机台之一种资源类型之可用数量。一搬运管理系统连接结至主电脑,接收制造机台中之一种资源类型之可用数量,取得相应于一具载具之一个载具识别码,取得相应于载具之资源类型之需要数量。如果资源类型之可用数量超过或相同于资源类型之需要数量,搬运管理系统发出一个载入指令给一个自动化原料管理系统(automated material handling system; AMHS),用以搬运载具至制造机台。
申请公布号 TWI251255 申请公布日期 2006.03.11
申请号 TW093128180 申请日期 2004.09.17
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 游准;张慎之;孙金钏
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种载具运输流量管理系统,包括: 一个制造机台; 一部主机,连接上述制造机台,用以当侦测到上述 机台之载入埠有用时,取得上述制造机台中一个资 源类型之一个可用数目;以及 一个原料运输系统,连接上述主机,用以取得上述 制造机台中一个资源类型之一个可用数目,取得相 应于一个载具之一个载具识别码,取得相应于上述 载具识别码之上述资源类型之一个需要数目,如果 上述资源类型之上述可用数目超过或等于上述需 要数目,则发出一道载入命令给一个自动化原料管 理系统,用以搬运上述载具至上述制造机台。 2.如申请专利范围第1项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述原料运输系统侦测到如果上述资源 类型之上述可用数目低于上述需要数目,则发送一 个建议讯息给一个操作人员或一个自动派工系统 。 3.如申请专利范围第1项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述制造机台提供复数服务,上述服务 服从一个300mm国际半导体设备与原料(semiconductor equipment and material international;SEMI)标准。 4.如申请专利范围第1项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述载具识别码从一个操作人员或一个 自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之上 述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系统 所取得。 5.如申请专利范围第4项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述原料运输系统侦测到如果上述资源 类型之上述可用数目低于上述需要数目,则发送一 个建议讯息给一个操作人员或一个自动派工系统 。 6.如申请专利范围第1项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述资源类型包含一个控制工作空间以 及一个处理工作空间。 7.如申请专利范围第6项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述原料运输系统侦测到如果上述资源 类型之上述可用数目低于上述需要数目,则发送一 个建议讯息给一个操作人员或一个自动派工系统 。 8.如申请专利范围第7项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述载具识别码从一个操作人员或一个 自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之上 述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系统 所取得。 9.如申请专利范围第1项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述资源类型包含一个控制工作空间、 一个处理工作空间以及一个内部缓冲区空间。 10.如申请专利范围第9项所述之载具运输流量管理 系统,其中上述原料运输系统侦测到如果上述资源 类型之上述可用数目低于上述需要数目,则发送一 个建议讯息给一个操作人员或一个自动派工系统 。 11.如申请专利范围第10项所述之载具运输流量管 理系统,其中上述载具识别码从一个操作人员或一 个自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之 上述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系 统所取得。 12.一种载具运输流量管理方法,由一部电脑载入并 执行,其方法包括下列步骤: 取得一个制造机台中一个资源类型之一个可用数 目; 取得相应于一个载具之一个载具识别码; 取得相应于上述载具识别码之上述资源类型之一 个需要数目;以及 如果上述资源类型之上述可用数目超过或等于上 述需要数目,则发出一道载入命令给一个自动化原 料管理系统,用以搬运上述载具至上述制造机台。 13.如申请专利范围第12项所述之载具运输流量管 理方法,更包含一步骤,如果上述资源类型之上述 可用数目低于上述需要数目,则发送一个建议讯息 给一个操作人员或一个自动派工系统。 14.如申请专利范围第12项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述制造机台提供复数服务,上述服 务服从一个300mm国际半导体设备与原料(semiconductor equipment and material international;SEMI)标准。 15.如申请专利范围第12项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述载具识别码从一个操作人员或一 个自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之 上述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系 统所取得。 16.如申请专利范围第15项所述之载具运输流量管 理方法,更包含一步骤,如果上述资源类型之上述 可用数目低于上述需要数目,则发送一个建议讯息 给一个操作人员或一个自动派工系统。 17.如申请专利范围第12项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述资源类型包含一个控制工作空间 以及一个处理工作空间。 18.如申请专利范围第17项所述之载具运输流量管 理方法,更包含一步骤,如果上述资源类型之上述 可用数目低于上述需要数目,则发送一个建议讯息 给一个操作人员或一个自动派工系统。 19.如申请专利范围第18项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述载具识别码从一个操作人员或一 个自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之 上述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系 统所取得。 20.如申请专利范围第12项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述资源类型包含一个控制工作空间 、一个处理工作空间以及一个内部缓冲区空间。 21.如申请专利范围第20项所述之载具运输流量管 理方法,更包含一步骤,如果上述资源类型之上述 可用数目低于上述需要数目,则发送一个建议讯息 给一个操作人员或一个自动派工系统。 22.如申请专利范围第21项所述之载具运输流量管 理方法,其中上述载具识别码从一个操作人员或一 个自动派工系统所取得,相应于上述载具识别码之 上述资源类型之上述需要数目从一个制造执行系 统所取得。 23.一种电脑可读取储存媒体,用以储存一电脑程式 ,该电脑程式用以载入至一电脑系统中并且使得该 电脑系统执行载具搬运流量管理方法,其方法包括 下列步骤: 取得一个制造机台中一个资源类型之一个可用数 目; 取得相应于一个载具之一个载具识别码; 取得相应于上述载具识别码之上述资源类型之一 个需要数目;以及 如果上述资源类型之上述可用数目超过或等于上 述需要数目,则发出一道载入命令给一个自动化原 料管理系统,用以搬运上述载具至上述制造机台。 图式简单说明: 第1图系表示依据本发明实施例之载具搬运流量管 理系统之系统架构图。 第2图系表示依据本发明实施例之原料运输系统之 硬体架构图。 第3图系表示依据本发明实施例之原料运输系统之 软体架构图。 第4图系表示依据本发明实施例之载具运输流量管 理方法之方法流程图。 第5图系表示依据本发明实施例之载具运输流量管 理方法之储存媒体示意图。
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