Method phase grating and device for analyzing a wave surface of a light beam

摘要

본 발명은 소스(S)로부터 렌즈(O)의 초점으로의 광빔(F)의 파면을 분석하기 위한 방법에 관한 것이다. 빔(F)은 분석면(P)상에 위치하며 결함(D)을 갖는 시료(LA)를 비춘다. 면(P)의 회절 격자(GR)는 초점 시스템(O, O, O)을 통해 분석면(P)의 접합면(conjugate)이다. 격자면(GR)으로부터 거리(d)에 위치한 면(P)에 이미지가 형성되며, 처리 수단(UT)에 의해 분석된다. 본 발명은 상기 격자(GR)를 2개의 위상 함수를 곱한 결과인 위상 함수에 의해 인코드하며, 2개의 위상 함수들은 분석하고자 하는 빔을 광펜슬빔의 형태로 전송하는 유용 영역들의 메쉬를 정의하는 제1 배타 함수 및 배타 위상 격자의 인접하는 메쉬들로부터 나오는 2개의 광펜슬빔 사이에 위상 대립(opposition)을 생성하는 제2 위상 기초 함수이다.