| 摘要 |
기판의 피듀셜 마크를 이용한 갠트리의 협업 판단 방법 및 장치가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 피듀셜 마크를 이용한 갠트리의 협업 판단은, 기판에 포함된 전체 피듀셜 마크(fiducial mark)를 기초로 전역(全域) 마크 중심점을 산출하는 단계; 상기 전역 마크 중심점을 기초로 상기 기판에 포함된 피듀셜 마크를 두 개의 그룹으로 분류하는 단계; 제1 그룹 및 제2 그룹에 각각 포함된 피듀셜 마크를 기초로 상기 제1 그룹에 대한 제1 마크 중심점 및 상기 제2 그룹에 대한 제2 마크 중심점을 산출하는 단계; 상기 제1 마크 중심점과 상기 제2 마크 중심점 간의 이격 거리를 산출하는 단계; 및 상기 이격 거리를 소정의 기준 거리와 비교하여 듀얼 갠트리의 협업 여부를 판단하는 단계를 포함한다. |
