| 摘要 |
본 발명은 린스액을 건조할 때, 피처리 기판의 볼록형부가 도괴되는 것을 방지하는 것이 가능한 액처리 방법, 액처리 장치 및 기억매체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 본체부(W)와, 기판 본체부(W)에 돌출된 복수의 볼록형부(W)를 가지며, 기판 본체부(W) 위에 있어서 볼록형부(W)의 사이에 하지면(W)이 형성된 피처리 기판(W)에 대하여 표면 처리를 행함으로써, 피처리 기판(W)의 하지면(W)이 친수화되고, 볼록형부(W)의 표면이 발수화된 상태가 되도록 한다. 다음에, 표면 처리된 피처리 기판(W)에 대하여 린스액을 공급한다. 그 후, 피처리 기판(W)으로부터 린스액을 제거한다. |
