腔室盖加热器环组件

摘要

本发明的实施例大致提供用于等离子体加工腔室的盖加热器。在一个实施例中，提供盖加热器组件，包括导热底座。所述导热底座具有平面环形，用于界定内部开口。所述盖加热器组件进一步包括：加热元件，所述加热元件布置于导热底座上；及绝缘的核心，所述绝缘的核心布置于横跨导热底座的内部开口。

主权项

一种用于具有线圈组件的等离子体加工系统的盖加热器组件，包含：导热底座，其中所述导热底座具有平面环形，所述平面环形界定内部开口，其中所述内部开口的直径大于或至少等于所述线圈组件的尺寸；加热元件，所述加热元件布置于所述导热底座上；绝缘的中央核心，所述绝缘的中央核心布置为横跨所述导热底座的内部开口；及RF外罩，所述RF外罩为环，所述RF外罩布置于所述加热元件上；其中所述加热元件与所述线圈组件经安置，使得所述线圈组件的磁场导向所述内部开口内。