| 主权项 |
1.一种三角形的组合化学晶片,包括一个三角形基 础样本空间以及其内由4n个相异的全等定义区域 所组成之几何结构,其中,n为≦18的自然数,在任一 定义区域内仅布植一个固态混合物样品点,该样品 点包含一种混合物之组成,该基础样本空间内每个 样品点的混合物成份比例均不相同,该等混合物的 组成是选择自三种不同的固态化学物质,其特征在 于该4n个相异样本点的位置与其物种组成可以形 成一种系统化的对应关系以及可以座标化。 2.如申请专利范围第1项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该基础样本空间座落于一硬质基材上, 该硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧 化物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 3.如申请专利范围第1项所述之三角形组合化学晶 片,其中该三角形系选择自正三角形、等腰三角形 及直角三角形所组成的族群中。 4.如申请专利范围第1项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该固态化学物质包括金属或金属化合物 。 5.如申请专利范围第1项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该晶片内的该定义区域包括三角形、圆 形、方形或菱形的区域。 6.一种三角形的组合化学晶片,包括一个三角形基 础样本空间以及其内由16个相异的全等定义区域 所组成之几何结构,其中,在任一定义区域内仅布 植一个固态混合物样品点,该样品点包含一种混合 物之组成,该基础样本空间内每个样品点的混合物 成份比例均不相同,该等混合物的组成是选择自三 种不同的固态化学物质,其特征在于该16个相异样 本点的位置与其物种组成可以形成一种系统化的 对应关系以及可以座标化。 7.如申请专利范围第6项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该基础样本空间座落于一硬质基材上, 该硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧 化物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 8.如申请专利范围第6项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该三角形系选择自正三角形、等腰三角 形及直角三角形所组成的族群中。 9.如申请专利范围第6项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该固态化学物质包括金属或金属化合物 。 10.如申请专利范围第6项所述之三角形的组合化学 晶片,其中该晶片内的该定义区域包括三角形、圆 形、方形或菱形的区域。 11.一种三角形的组合化学晶片,包括一个三角形基 础样本空间以及其内由64个相异的全等定义区域 所组成之几何结构,其中,在任一定义区域内仅布 植一个固态混合物样品点,该样品点包含一种混合 物之组成,该基础样本空间内每个样品点的混合物 成份比例均不相同,该等混合物的组成是选择自三 种不同的固态化学物质,其特征在于该64个相异样 本点的位置与其物种组成可以形成一种系统化的 对应关系以及可以座标化。 12.如申请专利范围第11项所述之三角形的组合化 学晶片,其中该基础样本空间座落于一硬质基材上 ,该硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧 化物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 13.如申请专利范围第11项所述之三角形的组合化 学晶片,其中该三角形系选择自正三角形、等腰三 角形及直角三角形所组成的族群中。 14.如申请专利范围第11项所述之三角形的组合化 学晶片,其中该固态化学物质包括金属或金属化合 物。 15.如申请专利范围第11项所述之三角形的组合化 学晶片,其中该晶片内的该定义区域包括三角形、 圆形、方形或菱形的区域。 16.一种由4n个全等三角形相异区域所组合而成之 三角形组合化学晶片之制备方法,包括下列步骤: 将一第一遮蔽面罩置于一硬质基材上,溅镀一第一 化学物质;溅镀完成后,将该第一遮蔽面罩以一方 向旋转一定义角度,再溅镀一第二化学物质;溅镀 完成后,再将该第一遮蔽面罩以同一方向旋转该定 义角度,然后溅镀一第三化学物质;其中该第一遮 蔽面罩具有复数三角形所组成之遮蔽部份以及复 数三角形所组成之镂空部份; 将一第二遮蔽面罩置于该硬质基材上,溅镀一第一 化学物质;溅镀完成后,将该第二遮蔽面罩以一方 向旋转一定义角度,再溅镀一第二化学物质;溅镀 完成后,再将该第二遮蔽面罩以同一方向旋转该定 义角度,然后溅镀一第三化学物质;其中该第二遮 蔽面罩具有复数三角形所组成之遮蔽部份以及复 数三角形所组成之镂空部份;以及 重复实施溅镀该等化学物质,直到使用至第(n2+n+2)/ 2个遮蔽面罩为止;其中,n为≦18的自然数。 17.如申请专利范围第16项所述之制备方法,其中该 硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧化 物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 18.如申请专利范围第16项所述之制备方法,其中该 遮蔽面罩之旋转方向为顺时钟针方向或逆时钟针 方向。 19.如申请专利范围第16项所述之制备方法,其中该 化学物质包括金属或金属化合物。 20.如申请专利范围第16项所述之制备方法,其中该 三角形系选择自正三角形、等腰三角形及直角三 角形所组成的族群中。 21.如申请专利范围第20项所述之制备方法,当该三 角形是正三角形时,则该定义角度是120度。 22.如申请专利范围第16项所述之制备方法,更包括 将该硬质基材进行前处理之步骤,以增加化学物质 溅镀之附着力。 23.一种由16个全等三角形相异区域所组合而成之 三角形组合化学晶片之制备方法,包括下列步骤: 将一第一遮蔽面罩置于一硬质基材上,溅镀一第一 化学物质;溅镀完成后,将该第一遮蔽面罩以一方 向旋转120度,再溅镀一第二化学物质;溅镀完成后, 再将该第一遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅 镀一第三化学物质;其中该第一遮蔽面罩具有复数 三角形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成 之镂空部份; 将一第二遮蔽面罩置于该硬质基材上,溅镀该第一 化学物质;溅镀完成后,将该第二遮蔽面罩以一方 向旋转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后, 再将该第二遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅 镀该第三化学物质;其中该第二遮蔽面罩具有复数 三角形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成 之镂空部份; 将一第三遮蔽面罩置于该硬质基材上,溅镀该第一 化学物质;溅镀完成后,将该第三遮蔽面罩以一方 向旋转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后, 再将该第三遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅 镀该第三化学物质;其中该第三遮蔽面罩具有复数 三角形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成 之镂空部份;以及 将一第四遮蔽面罩置于该硬质基材上,溅镀该第一 化学物质;溅镀完成后,将该第四遮蔽面罩以一方 向旋转择120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成 后,再将该第四遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然 后溅镀该第三化学物质;其中该第四遮蔽面罩具有 复数三角形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所 组成之镂空部份。 24.如申请专利范围第23项所述之制备方法,其中该 硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧化 物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 25.如申请专利范围第23项所述之制备方法,其中该 遮蔽面罩之旋转方向为顺时钟针方向或逆时钟针 方向。 26.如申请专利范围第23项所述之制备方法,其中该 化学物质包括金属或金属化合物。 27.如申请专利范围第23项所述之制备方法,其中该 三角形是正三角形。 28.如申请专利范围第23项所述之制备方法,更包括 将该硬质基材进行前处理之步骤,以增加化学物质 溅镀之附着力。 29.一种由64个全等三角形相异区域所组合而成之 三角形组合化学晶片之制备方法,包括下列步骤: 将一第一遮蔽面罩置于一硬质基材上,溅镀一第一 化一学物质;溅镀完成后,将该第一遮蔽面罩以一 方向旋转120度,再溅镀一第二化学物质;溅镀完成 后,再将该第一遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然 后溅镀一第三化学物质;其中该第一遮蔽面罩具有 复数三角形所组成之遮蔽份以及复数三角形所组 成之镂空部份; 将一第二遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第二遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第二遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质; 其中该第二遮蔽面罩具有复数三角形所组成之遮 蔽部份以及复数三角形所组成之镂空部份; 将一第三遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第三遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第三遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质; 其中该第三遮蔽面罩具有复数三角形所组成之遮 蔽部份以及复数三角形所组成之镂空部份; 将一第四遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第四遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第四遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质; 其中该第四遮蔽面罩具有复数三角形所组成之遮 蔽部份以及复数三角形所组成之镂空部份; 将一第五遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第五遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第五遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质;其中该第五遮蔽面罩具有复数三角 形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成之镂 空部份; 将一第六遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第六遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第六遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质;其中该第六遮蔽面罩具有复数三角 形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成之镂 空部份;以及 将一第七遮蔽面罩置于该基材上,溅镀该第一化学 物质;溅镀完成后,将该第七遮蔽面罩以一方向旋 转120度,再溅镀该第二化学物质;溅镀完成后,再将 该第七遮蔽面罩以同一方向旋转120度,然后溅镀该 第三化学物质;其中该第七遮蔽面罩具有复数三角 形所组成之遮蔽部份以及复数三角形所组成之镂 空部份。 30.如申请专利范围第29项所述之制备方法,其中该 硬质基材的材质是选择自金属、合金、金属氧化 物、矽晶圆、石英以及玻璃所组成的族群中。 31.如申请专利范围第29项所述之制备方法,其中该 遮蔽面罩之旋转方向为顺时钟针方向或逆时钟针 方向。 32.如申请专利范围第29项所述之制备方法,其中该 化学物质包括金属或金属化合物。 33.如申请专利范围第29项所述之制备方法,其中该 三角形是正三角形。 34.如申请专利范围第29项所述之制备方法,更包括 将该硬质基材进行前处理之步骤,以增加化学物质 溅镀之附着力。 图式简单说明: 第1(A)图及第1(B)图显示本发明用于4个相异定义区 域组成之三角形组合化学晶片之三角形遮蔽面罩 。 第2图显示本发明之4个相异定义区域组成的三角 形组合化学晶片之示意图;其中网点代表一层钴金 属,实心点代表一层镍金属,以及空心点代表一层 铁金属。 第3(A)图至第3(D)图显示本发明用于16个相异定义区 域组成之三角形组合化学晶片之三角形遮蔽面罩 。 第4图显示本发明之16个相异定义区域组成的三角 形组合化学晶片之示意图;其中网点代表一层钴金 属,实心点代表一层镍金属,以及空心点代表一层 铁金属。 第5(A)图至第5(G)图显示本发明用于64个相异定义区 域组成之三角形组合化学晶片之三角形遮蔽面罩 。 第6图显示本发明之64个相异定义区域组成的三角 形组合化学晶片之示意图;其中网点代表一层钴金 属,实心点代表一层镍金属,以及空心点代表一层 铁金属。 |
