自持薄膜细丝型传感器的制造和应用

摘要

一种细丝型传感器，用于测定周围环境的静态或动态特性，它包括一个适合于在环境中通过电流而受热的电阻元件。界面区域适合于在按照待测定的特性影响界面区域电子特性的物理化学过程中与环境发生反应。该传感器包括形成至少一个洞孔和至少一个含电阻元件的细丝的支持片。细丝包括一或多个薄膜，并具有一个位于洞孔内的部分和至少两个端部，部分通过这两个端部连接到支持片上。

主权项

1、一种细丝型传感器，用于测定周围环境的静态或动态特性，它包括一个电阻元件和一个界面区域。该电阻元件适合于在环境中通过电流而受到加热，该界面区域适合于在按照待测定的特性影响界面区域电子特性的物理化学过程中与环境发生反应，该传感器包括形成至少一个洞孔的支持片和至少一个细丝，细丝包括电阻元件和一或多个薄膜，并具有一个位于洞孔内的中央部分和至少两个端部，中央部分通过这两个端部连接到支持片上。