发明名称 ANORDNUNG ZUR DICKENMESSUNG VON DUENNSCHICHTEN.
摘要
申请公布号 DE59000273(D1) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 DE19905000273 申请日期 1990.07.12
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 WURCZINGER, HANS-DIETER, W-6368 BAD VILBEL, DE
分类号 C23C14/04;C23C14/54;G01B21/08;(IPC1-7):G01B21/08 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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