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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0637064(A)
申请公布日期
1994.02.10
申请号
JP19920188490
申请日期
1992.07.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KATO SHINYA;WATABE TAKUYA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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