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经营范围
发明名称
WAFER CLEANER
摘要
申请公布号
JPH07130697(A)
申请公布日期
1995.05.19
申请号
JP19930275807
申请日期
1993.11.04
申请人
NIPPON STEEL CORP;TAKATA KOGYOSHO:KK
发明人
ONO YASUMARO;SHIGEMORI YUJI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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