发明名称 SUBSTRATE HEATING METHOD WITH INFRARED RAYS AND SUBSTRATE HEATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH07130677(A) 申请公布日期 1995.05.19
申请号 JP19930279133 申请日期 1993.11.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIINA KAZUNARI
分类号 C23C14/24;C23C14/50;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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