发明名称 CHARGE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH09178791(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950338941 申请日期 1995.12.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TAKAHASHI SHIGEKI
分类号 G01R29/24;G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):G01R29/24 主分类号 G01R29/24
代理机构 代理人
主权项
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