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发明名称 Verfahren zum Herstellen verbesserter CVD Kupferfilme
摘要
申请公布号 DE69404564(T2) 申请公布日期 1997.12.04
申请号 DE19946004564T 申请日期 1994.05.11
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC., ALLENTOWN, PA., US 发明人 NORMAN, JOHN ANTHONY THOMAS, ENCINITAS, CA 92024, US;HOCHBERG, ARTHUR KENNETH, SOLANA BEACH, CA 92075, US;ROBERTS, DAVID ALLEN, CARLSBAD, CA 92009, US
分类号 C23C16/14;C23C16/18;H01L21/28;(IPC1-7):C23C16/18;C07F1/08;H01L21/285 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
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