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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10144783(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960294935 申请日期 1996.11.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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