| 发明名称 |
CHARGE PARTICLE BEAM DEVICE, ABSORBING BOARD THEREFOR AND DEFLECTING ELECTRODE FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11154640(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19980078931 |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TAKAMATSU JUN;OGASAWARA MUNEHIRO |
| 分类号 |
H01J37/147;G03F7/20;H01J37/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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