超音波低应力精密抛光系统

摘要

本发明系有关于一种超音波低应力精密抛光系统，包含有：一研磨刀具，具有一长条状金属板，两面排列设有多数压电片，其中，该金属板两面之压电片系彼此交错设置，同一面的压电片彼此间相隔预定距离，且该等压电片系由一绝缘胶体包封于内；一研磨垫，贴置于该绝缘胶体；二压电驱动器，设置于该金属板两端，将该等压电片驱动至超音波状态，藉以使该研磨垫产生超音波之细微振动；藉此，可利用超音波之细微激振原理，产生行波或驻波而以极低的作用力作用于晶圆上，可适用于低介电常数整合铜金属制程之抛光需求。