载置台机构、等离子体处理装置和电压施加方法

摘要

本发明提供载置台机构、等离子体处理装置和电压施加方法。该载置台机构通过减小在向吸盘电极施加直流电压时和切断直流电压时的吸盘等效电路的时间常数，使电荷的蓄积和电荷的释放分别得以迅速地进行。在处理容器(52)内载置被进行等离子体处理的被处理体(W)的载置台机构，设置有载置台(84)、在内部设置有吸盘电极(114)的静电吸盘(86)、经供电线(116)连接的直流高压电源(120)、插设在供电线上的吸盘用开关部(124)、用于检测载置台的直流成分的直流成分检测电路(96)、旁通直流成分检测电路的旁路线(108)、插设在旁路线的中途用于使直流成分检测电路旁通而使载置台接地的旁路用开关部(110)、和控制开关部的开关控制部(112)。

主权项

1.一种载置台机构，设置在能够被真空排气的处理容器内，载置利用通过高频电力产生的等离子体实施规定的等离子体处理的被处理体，该载置台机构的特征在于，包括：用于载置所述被处理体的、由导电部件构成的载置台；配置在所述载置台的上表面、为了吸附所述被处理体而在内部设置有吸盘电极的静电吸盘；为了施加产生静电力的直流电压而经由供电线连接在所述吸盘电极上的直流高压电源；插设在所述供电线的中途、在吸附所述被处理体时被闭合的吸盘用开关部；为了检测在所述等离子体处理时施加在所述载置台上的直流成分而被连接在所述载置台上的直流成分检测电路；旁通所述直流成分检测电路的旁路线；插设在所述旁路线的中途、在将所述吸盘用开关部切换到闭合状态时和切换到打开状态时使所述直流成分检测电路旁通从而使所述载置台接地的旁路用开关部；和控制所述吸盘用开关部和所述旁路用开关部的开关控制部。