薄膜电晶体阵列面板及其制造之方法

摘要

本发明提供一种TFT阵列面板及其制造方法，该TFT阵列面板具有数个信号线，该等信号线包括一含Al金属之下层及一钼合金(Mo合金)之上层，该钼合金包括钼(Mo)与铌(Nb)、钒(V)及钛(Ti)中至少之一。因此，避免了于蚀刻制程中可能发生之底切、悬垂及缺口，并提供具有具有低电阻率及良好接触特性之信号线的TFT阵列面板。