| 摘要 |
In einer Oberflächenformmessvorrichtung misst ein Verlagerungsmesser (100) eine Verlagerung einer Oberfläche eines zu messenden Objekts (130) durch ein Triangulationsverfahren unter Verwendung eines Lichtstrahls (116). Bei einer ersten Messung misst eine Messsteuereinheit (156) kontinuierlich das zu messende Objekt (130) durch den Verlagerungsmesser (100), während der Lichtstrahl (116) in einer Richtung, die eine Höhendifferenz des zu messenden Objekts (130) schneidet, durch Bewegen des Verlagerungsmessers (100) und des zu messenden Objekts (130) relativ zueinander abgetastet wird. Bei einer zweiten Messung misst die Messsteuereinheit (156) kontinuierlich denselben Teil wie bei der ersten Messung durch den Verlagerungsmesser (100), wobei die Orientierung des Verlagerungsmessers (100) um 180 Grad von der Orientierung bei der ersten Messung um den Lichtstrahl (116) als Rotationssymmetrieachse gedreht wurde. Eine Höhendifferenz-Identifikationseinheit (160) identifiziert eine Position der Höhendifferenz auf der Basis eines Trennungsstartpunkts, an dem gemessene Werte durch die erste und die zweite Messung sich voneinander zu trennen beginnen. |
