| 发明名称 |
PROCEDE PERMETTANT DE FAIRE CROITRE DES FILMS DE GAAS SUR DES SUBSTRATS DE SI OU DE GAAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2621171(B1) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
FR19880012701 |
申请日期 |
1988.09.28 |
| 申请人 |
OY NOKIA AB |
发明人 |
MARKUS PESSA;HARRY ASONEN;JUKKA VARRIO;ARTO SALOKATVE |
| 分类号 |
C30B29/42;C30B23/08;H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C30B29/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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