| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR IMAGING MINUTE LINE-WIDTH STRUCTURE BYUSING OPTICAL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07128595(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930292647 |
申请日期 |
1993.10.28 |
| 申请人 |
PUROMETORIKUSU CORP |
发明人 |
TEIMOSHII AARU KOORU;YUUNASU BOORA;KAMURAN SAAMADEI |
| 分类号 |
G01B11/24;G02B21/00;G02B21/06;(IPC1-7):G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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