发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR CHEMICALLY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0755571(A1) 申请公布日期 1997.01.29
申请号 EP19940917638 申请日期 1994.05.17
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 SCHILD, ROBIN;KOZAK, MILAN;DURST, JOHANN
分类号 B01J19/10;C23G3/00;F26B21/14;H01L21/00;H05K3/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B01J19/10
代理机构 代理人
主权项
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