| 发明名称 |
Handlingsvorrichtung zum Be- und Entladen einer evakuierbaren Behandlungskammer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29706556(U1) |
申请公布日期 |
1997.07.10 |
| 申请号 |
DE19972006556U |
申请日期 |
1997.04.11 |
| 申请人 |
LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
B01J3/00;B01J3/03;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/677;H01L21/687;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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