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发明名称 METHOD FOR FORMING CONDUCTIVE FILM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE PROVIDED WITH IT
摘要
申请公布号 JPH11233739(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980041292 申请日期 1998.02.06
申请人 NIPPON FOUNDRY INC 发明人 OKAYAMA SATOSHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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