发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11233638(A) 申请公布日期 1999.08.27
申请号 JP19980028551 申请日期 1998.02.10
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MATSUKUMA MOICHI
分类号 H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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