Integrierter optoelektronischer Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Erfindungsgemäß werden die elektronischen Bauteile eines optoelektronischen Sensors für ein Messsystem auf der von einem Maßstab abgewandten Seite eines Halbleitersubstrats angeordnet. An den Stellen, an denen diese Bauteile elektromagnetische Strahlung emittieren oder detektieren, wird das zwischen den elektronischen Bauteilen und dem Maßstab befindliche Halbleitersubstrat entfernt. Dadurch ist es möglich, alle elektrischen Anschlüsse der Bauteile und weitere elektronische Baugruppen des Messsystems an einer ersten Seite des Halbleitetrsubstrats und alle optischen Bauteile des Messsystems an einer zweiten Seite des Halbleitersubstrats anzuordnen. Mit dieser zweiten Seite ist eine Abtastplatte mit mindestens einer Abtastteilung fest verbunden. Eine derartige feste Verbindung zwischen Halbleitersubstrat und Abtastplatte wird erst dadurch möglich, dass auf der zweiten Seite des Halbleitetsubstrats keine störenden elektrischen Leitungen vorhanden sind.