| 发明名称 | 使用非牛顿流体运输衬底的方法和装置 | ||
| 摘要 | 提供了用于运输衬底的方法。在该方法中，提供非牛顿流体以及衬底在非牛顿流体中悬浮。非牛顿流体能支撑衬底。此后，向非牛顿流体施加足够的力以使得非牛顿流体流动，从而该流沿着流的方向移动衬底。也描述了使用非牛顿流体运输衬底的装置和系统。 | ||
| 申请公布号 | CN1880200A | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200610106083.8 | 申请日期 | 2006.06.15 |
| 申请人 | 兰姆研究有限公司 | 发明人 | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·帕克斯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 |
| 分类号 | B65G51/01(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | B65G51/01(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘华联 |
| 主权项 | 1.一种装置，包括：具有导管形的空腔的腔室，该导管设置为输送非牛顿流体，从而在导管中运输衬底。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||