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发明名称
METHOD FOR MONITORING A VOID
摘要
申请公布号
KR100711922(B1)
申请公布日期
2007.04.19
申请号
KR20050123284
申请日期
2005.12.14
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
HWANG, JONG TAEK;HAN, JAE WON
分类号
H01L21/66;H01L21/28
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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