固态成像装置及其制造方法、以及摄像机

摘要

本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：衬底，具有第一表面和第二表面，光入射在该第二表面侧；布线层，设置在该第一表面侧；光电检测器，形成在该衬底中且包括第一导电类型的第一区；转移栅极，设置在该衬底的该第一表面上且邻近该光电检测器，该转移栅极传输积累在该光电检测器中的信号电荷；以及至少一个控制栅极，设置在该衬底的该第一表面上且叠置在该光电检测器上，该控制栅极控制该第一表面附近该光电检测器的电势。