发明名称 ABSTIMMBARE MEMS-ANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE602006005698(D1) 申请公布日期 2009.04.23
申请号 DE200660005698T 申请日期 2006.10.10
申请人 NXP B.V. 发明人 RIJKS, THEODOOR G. S. M.;STEENEKEN, PETER G.
分类号 H01G5/16 主分类号 H01G5/16
代理机构 代理人
主权项
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