| 发明名称 | 预处理TEM样品以及对样品进行TEM测试的方法 | ||
| 摘要 | 一种预处理TEM样品的方法，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层。所述的有机物膜层为聚乙烯醇缩甲醛膜或者M-bond膜。采用本发明所述的方法在样品表面形成有机物膜层，有效解决了现有技术中采用FIB方法对TEM样品进行切割时对样品的损伤，而且，所述有机物膜层的选择范围广，制作方法简单。 | ||
| 申请公布号 | CN101458180A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200710094500.6 | 申请日期 | 2007.12.13 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 张启华;周晶;苏婕;于会生 |
| 分类号 | G01N1/28(2006.01)I;G01N13/10(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1. 一种预处理TEM样品的方法，其特征在于，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||