晶圆在线检测方法及在线检测装置

摘要

本发明公开了一种晶圆在线检测方法，包括步骤：提供待检测晶圆，所述待检测晶圆上周期性排列复数个单元，且各所述单元内具有检测区域；确定所述检测区域在对应单元内的位置；根据所述检测区域在对应单元内的位置确定各所述检测区域在所述待检测晶圆上的分布；根据各所述检测区域在所述待检测晶圆上的分布选取复数个待检测单元；检测所述复数个待检测单元的检测区域，得到各检测数据。本发明还公开了一种相应的晶圆在线检测装置，采取本发明的晶圆在线检测方法及在线检测装置后，所得到的检测点数据可以较为准确地代表整个晶圆的检测数据，提高了对检测结果分析的准确性。

主权项

1、一种晶圆在线检测方法，其特征在于，包括步骤：提供待检测晶圆，所述待检测晶圆上周期性排列复数个单元，且各所述单元内具有检测区域；确定所述检测区域在对应单元内的位置；根据所述检测区域在对应单元内的位置确定各所述检测区域在所述待检测晶圆上的分布；根据各所述检测区域在所述待检测晶圆上的分布选取复数个待检测单元；检测所述复数个待检测单元的检测区域，得到各检测数据。