衬底加热设备及衬底加热方法

摘要

一种衬底加热设备包括真空容器，该真空容器的内部被壁体分离成第一空间和第二空间，第一空间被第一排气装置抽空成真空并容纳待加热的衬底，第二空间被第二排气装置抽空成真空并包括用于加热容纳在第一空间中的衬底的加热装置，缩短了由第一排气装置把第一空间抽空成真空所需的时间，由此提高了生产量。壁体在面对第二空间的壁体的一部分上具有未被涂布的非涂层表面。在壁体表面的其余部分上形成涂层。

主权项

1.一种用于加热衬底的衬底加热设备，包括：真空容器，所述真空容器的内部被由石墨制成的壁体分离成第一空间和第二空间，所述壁体具有用热解碳涂布的表面，所述第一空间容纳待加热的衬底，所述第二空间布置有用于加热容纳在所述第一空间中的所述衬底的加热装置，其中所述壁体在与所述第二空间面对的壁体表面上包括暴露的石墨部分。