基板昇降装置用力検知システム

摘要

基板昇降装置上の力を監視するシステム及び方法を提供する。このシステムは、プラテン及び可動昇降部分を有するプラテンカートリッジを具える。可動昇降部分は複数の昇降ピンに結合された複数の昇降アームを有する。それぞれ複数の昇降アーム及び複数の昇降ピンの１つに複数の力検知素子を関連させる。コントローラが複数の力検知素子からの信号を受信するとともに、これらの信号を、複数の昇降ピンに加えられるそれぞれの力に相関付けるようにする。相関付けられたこれらの力は、固着したウエハ、破壊したウエハ、誤配置されたウエハ又は機械的な故障のようなエラー状態が存在することをコントローラに指示することができる。