发明名称 探测器以及使用其之测试装置
摘要 本发明提供一种探测器,其包括一具有一机架接地端子之机架、一夹片台、用于驱动该夹片台之多个伺服马达、连接至该等伺服马达之多个伺服放大器、上面提供有该等伺服放大器之多个第一浮动安装台、一上面提供有该伺服马达之第二浮动安装台。该第一浮动安装台与该机架电绝缘,且具有连接至该等伺服放大器之该等接地端子的第一接地端子。该第二浮动安装台与该机架电绝缘,且具有一连接至该伺服马达之该接地端子的第二接地端子。该探测器进一步包括:连接该等伺服放大器及该等伺服马达之屏蔽电缆;连接该第一接地端子及该机架接地端子,且亦连接该第一接地端子及该第二浮动安装台之一第一导线;及连接该等屏蔽电缆及该机架接地端子之第二导线。
申请公布号 TW200620520 申请公布日期 2006.06.16
申请号 TW094127156 申请日期 2005.08.10
申请人 安捷伦科技公司 发明人 岸田明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国