利用漫射反射之测量提高X光反射测量ENHANCEMENT OF X-RAY REFLECTOMETRY BY MEASUREMENT OF DIFFUSE REFLECTIONS

摘要

本发明揭示一种用于检查具有一表面层之一样本的方法。该方法包括获得该样本之一第一反射比光谱，同时采用X光之一准直光束而照射该样本，并且处理该第一反射比光谱以测量该样本之一漫射反射特性。获得该样本之一第二反射比光谱，同时采用该等X光之一会聚光束而照射该样本。使用该漫射反射特性来分析该第二反射比光谱，以便决定该样本之该表面层的一特征。