| 发明名称 |
GRAPHENE RELAY DEVICE WITH PIN ELECTRODE AND MANUFACTRURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
본 발명은 나노전자기계소자로 이용될 수 있는 핀 전극을 가진 그래핀 릴레이 소자 및 그 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 의한 핀 전극을 가진 그래핀 릴레이 소자는 드레인; 상기 드레인 위에 안착되어 단일의 층으로 형성된 그래핀 층; 상기 그래핀 층과 이격되게 위치한 핀을 포함한 소스; 및 상기 그래핀 층과 이격되게 형성된 게이트를 포함할 수 있다. 특히, 상기 게이트에 소정 전압 인가 시, 상기 그래핀 층은 상기 핀에 부착될 수 있다. |
| 申请公布号 |
KR101667486(B1) |
申请公布日期 |
2016.10.18 |
| 申请号 |
KR20150069783 |
申请日期 |
2015.05.19 |
| 申请人 |
KOREA NATIONAL UNIVERSITY OF TRANSPORTATION INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION |
发明人 |
KANG, JEONG WON |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L29/06;H01L29/16;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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