发明名称 用于制备合成石英玻璃的方法
摘要 本发明涉及一种用于制备合成石英玻璃的方法,其包括:气化作为液体SiO<sub>2</sub>原料 (105)的聚烷基硅氧烷,使SiO2原料蒸气(107)转化为SiO<sub>2</sub>颗粒,沉积所述SiO<sub>2</sub>颗粒而形成烟灰体(200),和使烟灰体(200)玻璃化。根据本发明,加热的SiO<sub>2</sub>原料(105)的气化包括在膨胀室(125)中的喷射阶段,在其中SiO<sub>2</sub>原料 (105)雾化成为细小的微滴,其中所述微滴具有小于5 µm的平均直径,并且微滴的雾化在预热的载体气体流中进行,所述载体气体流具有超过180℃的温度。
申请公布号 CN103987667B 申请公布日期 2016.10.19
申请号 CN201280062054.X 申请日期 2012.12.13
申请人 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 发明人 K-U.巴德克;N.奥托;M.特罗默;H.劳达恩;A.布吕克尔
分类号 C03B19/14(2006.01)I 主分类号 C03B19/14(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 石克虎;杨思捷
主权项 用于制备合成石英玻璃的方法,包括以下方法步骤:(A)提供具有超过70重量%的八甲基环四硅氧烷的液体SiO<sub>2</sub>原料(105),(B)使所述液体SiO<sub>2</sub>原料(105)气化为气态SiO<sub>2</sub>原料蒸气(107),其包括在膨胀室(125)中的喷射阶段,在膨胀室中所述SiO<sub>2</sub>原料(105)雾化为细小的微滴,其中微滴的雾化在载体气体流中进行,(C)使所述SiO<sub>2</sub>原料蒸气(107)转化成SiO<sub>2</sub>颗粒,(D)将所述SiO<sub>2</sub>颗粒沉积在沉积表面(160)上以形成SiO<sub>2</sub>烟灰体(200),(E)使所述SiO<sub>2</sub>烟灰体玻璃化以形成合成石英玻璃,其特征在于:所述微滴具有小于5μm的平均直径和在雾化过程中与预热的载体气体流以摩尔比载体气体/SiO<sub>2</sub>原料&gt;=1.5进行混合,其中所述载体气体流预热到超过180℃的温度。
地址 德国哈瑙