发明名称 InSt霍尔元件的电极
摘要 一种InSb霍尔元件的电极包括有“十”字形敏感膜和电极,电极一端与“十”字形敏感膜呈欧姆接触,另一端附着在基底上,这种电极在键合时对敏感膜无损伤,另外,电极与基底接触,温度应力小。
申请公布号 CN2249967Y 申请公布日期 1997.03.19
申请号 CN95231683.8 申请日期 1995.07.13
申请人 机械工业部沈阳仪器仪表工艺研究所 发明人 于成民;孙仁涛;冯桂华;刘佩瑶;王晓雯;关杰;孔海霞
分类号 H01L43/02 主分类号 H01L43/02
代理机构 沈阳杰克专利事务所 代理人 杨光
主权项 1、一种InSb霍尔元件的电极,包括有“十”字形敏感膜和电极,其特征在于电极(1)一端与“十”字形敏感膜(2)呈欧姆接触,另一端附着在基底上。
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