发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11204652(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980007830 申请日期 1998.01.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYANISHI ATSUSHI;YAMAZAKI AKIRA
分类号 H01L21/82;G06F17/50;G11C11/401;H01L21/8242;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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