发明名称 |
Height measuring apparatus and method and testing apparatus using the height measuring apparatus |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1055904(A3) |
申请公布日期 |
2001.04.25 |
申请号 |
EP20000401409 |
申请日期 |
2000.05.22 |
申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
TANAKA, MINORU;TAKEUCHI, KUNIYOSHI |
分类号 |
H05K13/08;G01B11/02;G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01B11/24 |
主分类号 |
H05K13/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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