| 摘要 |
〔课题〕对于依据雷射测长器的测量结果，进行位置控制的平台装置，可实现Abbe误差少的平台装置。〔解决手段〕在移动平台10上设有工件保持平台22，载置有工件30。在移动平台10中内藏有雷射测长器42，且，在移动平台10的侧面安装有雷射光反射组件44，将从雷射光出入射口43射入出的雷射光的光轴，移动直到工件保持平台22的表面的位置为止。镜子41是设置于相面对于工件保持平台22的位置，雷射光是由全反射镜子45a及全反射镜子45b所反射，入射至被设在相面对于全反射镜子45b的位置的镜子41。被镜子41所反射的雷射光，是由全反射镜子45b及全反射镜子45a所反射，入射至雷射测长器42。 |
