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发明名称
电极之制造方法
摘要
本发明系有关一种电极(1)之制造方法,该电极与一半导体元件之主动层(8)或介电层互相作用,电极(1)之功函数(Wf)可考量薄膜特性,尤其是层(8)掺杂,而配合层(8)能带(Ec,Ev)位置。为使制程经济,本发明使电极材料为一金属/非金属化合物,且功函数(F)可藉非金属成分之变化而调整。
申请公布号
TW200625422
申请公布日期
2006.07.16
申请号
TW094142446
申请日期
2005.12.02
申请人
爱思强公司
发明人
彼得 鲍曼;约翰尼斯 林德纳;马库斯 舒马赫
分类号
H01L21/283
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
赖经臣;宿希成
主权项
地址
德国
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