发明名称 电极之制造方法
摘要 本发明系有关一种电极(1)之制造方法,该电极与一半导体元件之主动层(8)或介电层互相作用,电极(1)之功函数(Wf)可考量薄膜特性,尤其是层(8)掺杂,而配合层(8)能带(Ec,Ev)位置。为使制程经济,本发明使电极材料为一金属/非金属化合物,且功函数(F)可藉非金属成分之变化而调整。
申请公布号 TW200625422 申请公布日期 2006.07.16
申请号 TW094142446 申请日期 2005.12.02
申请人 爱思强公司 发明人 彼得 鲍曼;约翰尼斯 林德纳;马库斯 舒马赫
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 德国