发明名称 |
Silicidierte Nanodrähte für Nanobrücken-Weak-Links |
摘要 |
Silicidierte Nanodrähte als Nanobrücken in Josephson-Kontakten. Ein supraleitender silicidierter Nanodraht wird als Weak-Link-Brücke in einem Josephson-Kontakt verwendet und ein Herstellungsverfahren wird angewendet, um silicidierte Nanodrähte herzustellen, das ein Strukturieren von zwei Kontakt-Bänken und eines rauen Nanodrahts aus einem Siliciumsubstrat, ein Umformen des Nanodrahts durch Wasserstoff-Tempern und ein Silicidieren des Nanodrahts durch Einbringen eines Metalls in die Nanodraht-Struktur aufweist. |
申请公布号 |
DE102016204201(A1) |
申请公布日期 |
2016.09.22 |
申请号 |
DE201610204201 |
申请日期 |
2016.03.15 |
申请人 |
International Business Machines Corporation |
发明人 |
Chang, Josephine B.;Chang, Paul;Cohen, Guy M.;Guillorn, Michael A. |
分类号 |
H01L39/24;H01L39/22 |
主分类号 |
H01L39/24 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|