发明名称 Silicidierte Nanodrähte für Nanobrücken-Weak-Links
摘要 Silicidierte Nanodrähte als Nanobrücken in Josephson-Kontakten. Ein supraleitender silicidierter Nanodraht wird als Weak-Link-Brücke in einem Josephson-Kontakt verwendet und ein Herstellungsverfahren wird angewendet, um silicidierte Nanodrähte herzustellen, das ein Strukturieren von zwei Kontakt-Bänken und eines rauen Nanodrahts aus einem Siliciumsubstrat, ein Umformen des Nanodrahts durch Wasserstoff-Tempern und ein Silicidieren des Nanodrahts durch Einbringen eines Metalls in die Nanodraht-Struktur aufweist.
申请公布号 DE102016204201(A1) 申请公布日期 2016.09.22
申请号 DE201610204201 申请日期 2016.03.15
申请人 International Business Machines Corporation 发明人 Chang, Josephine B.;Chang, Paul;Cohen, Guy M.;Guillorn, Michael A.
分类号 H01L39/24;H01L39/22 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
地址