| 摘要 |
가속도계용 감지 구조로서, 감지 방향을 따라 가해진 가속도에 응답하여 평면-내 이동을 위해 가요성 레그에 의해 지지부에 실장된 검증 질량으로서, 감지 방향에 실질적으로 직각으로 뻗어있는 그리고 감지 방향으로 이격되어 있는 복수의 가동 전극 핑거를 포함하는 검증 질량; 및 감지 방향에 실질적으로 직각으로 뻗어있는 그리고 감지 방향으로 이격되어 있는 제1 및 제2 고정 전극 핑거 세트를 포함하는 적어도 한 쌍의 고정 커패시터 전극을 포함하고, 제1 및 제2 고정 전극 핑거 세트는 사이의 중앙선으로부터, 각각, 하나의 방향으로 그리고 반대 방향으로 제1 및 제2 오프셋으로 가동 전극 핑거와 깍지 끼되, 검증 질량은 고정 커패시터 전극을 둘러싸는 외측 프레임이고, 가요성 레그는 검증 질량으로부터 중심 앵커로 안쪽으로 측방으로 뻗어있다. |
