| 摘要 |
본 발명은 이중 구조의 마스크 장치를 이용하여 반도체 소자 및 디스플레이 장치를 구성하는 박막 패턴의 제조 공정을 단순화함과 아울러 마스크의 열팽창을 최소화하여 대면적 기판에 박막 패턴을 형성할 수 있도록 한 마스크 장치와 이를 이용한 박막 패턴의 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것으로, 마스크 장치는 개구부와 단부를 가지는 마스크 프레임; 및 상기 개구부에 삽입되어 상기 단부에 의해 지지되며, 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위한 개구 패턴을 가지는 섀도우 마스크를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. |
