| 摘要 |
산의 작용에 의해 알칼리 현상액에 대한 용해성이 변화되는 기재 성분 (A) 및 노광에 의해 산을 발생하는 산발생제 성분 (B) 를 함유하는 레지스트 조성물로서, 상기 산발생제 성분 (B) 가 하기 일반식 (b1-11) 로 나타내는 화합물로 이루어지는 산발생제 (B1) 을 함유하는 레지스트 조성물. 식 (b-11) 중, R∼ R는 각각 독립적으로 아릴기 또는 알킬기이고, R∼ R중 어느 2 개가 서로 결합하여 식 중의 황 원자와 함께 고리를 형성하고 있어도 되고, R∼ R중 적어도 1 개는 치환기로서 하기 일반식 (I) 로 나타내는 기를 갖는 치환 아릴기이고, 식 (I) 중의 R는 불소화알킬기를 나타낸다. |
