| 发明名称 |
PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02229798(A) |
申请公布日期 |
1990.09.12 |
| 申请号 |
JP19890050795 |
申请日期 |
1989.03.01 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HANEKI YOSHIAKI;SHIMIZU ATSUSHI |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
